由于双频激光干涉仪是交流系统,具有优异的系统增益和抗干扰能力,不存在直流漂移,江苏非球面激光干涉仪供应商家,所以从1970年HP公司推出***台基于纵向塞曼效应的双频激光干涉仪后,在相当时期内,这种系统垄断了激光干涉仪市场。外差式激光干涉议的测量速度受到两束光的频差大小限制,根据前述的多普勒效应方程式可得到:Δf≈3.3V。在塞曼效应的激光器中,江苏非球面激光干涉仪供应商家,江苏非球面激光干涉仪供应商家,频差高到一定程度,模牵引效应消失,频差也消失。这也是基于塞曼效应效的双频激光干涉议的测量速度难以提高的原因。一般,横向塞曼效应产生激光频差一般在几百kHz以内,纵向塞曼效应产生的激光频差可以达到3.4〜4MHz。激光干涉仪重复性:λ/100 RMS。江苏非球面激光干涉仪供应商家
激光器发出的光束,经扩束准直后由分光镜分为两路,并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时,干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号,经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数,再由电子计算机按计算式:式中λ为激光波长(N为电脉冲总数),算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时,要求周围大气处于稳定状态,各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。苏州光学平面激光干涉仪联系方式平面平晶、窗口玻璃、光学平面、金属平面、陶瓷平面等光滑表面面形的90°直角棱镜和角锥测量。
计量检测,光学镜片检测、光学组件检测,手机背板和相机镜头检测,半导体晶圆检测,LED衬底蓝宝石检测,安防镜头和车载镜头检测,航空航天成像系统检测,超精密机械件检测,光学成像系统和衍射元件检测,纳米器件和MEMS检测,科研和高等教学仪器等众多领域。平面类(平面平晶、窗口玻璃、光学平面玻璃、金属平面、陶瓷平面等)光滑表面面形测量、一次测量后可同时显示多区域测量结果、光学平行度和材料均匀性的测量,90°直角棱镜和角锥测量;球面类(凸面、凹面、不同F数)光滑表面面形测量;柱面类(凸面、凹面、不同F数)光滑表面面形测量;非球面类(凸面、凹面)光滑表面面形测量;光学组件和系统透射波前精度测量、光学系统的装调和校准等。
激光干涉仪原理:经可逆计数器计数后,由电子计算机进行当量换算(乘 1/2激光波长)后即可得出可动反射镜的位移量。双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的,这种位移信息载于f1和f2的频差上,对由光强变化引起的直流电平变化不敏感,所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度,也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件,还可进行高精度直线度测量、平面度测量和小角度测量。覆盖多口径,具备模块化,高精度,高效率,100%无损,抗干扰性能强等特点。
基于声光移频的双频激光干涉仪的激光头简图,双纵模稳频的激光器输出激光,由检偏器P抑制一个纵模输出,线偏振的单频激光以Bragg角θ入射到声光频移器,衍射的0级输出保持原频率f1和原方向,1级输出偏转一个(-θ)角,并产生频移,频移后的频率变为f2,此频移(f2-f1)是声光偏转器中的声波频率,也即由晶体振荡器产生的驱动频率。0级光和1级光经过一个双折射棱镜各自按照偏振方向分离,通过一个孔栏A得到了同轴的,具有频差(f2-f1)的,偏振方向相互垂直的双频激光。激光干涉仪:数字化动态分析。江苏激光干涉仪技术参数
应用领域:计量领域(平面平晶检测),半导体工业(晶片检测),手机工业背板检测。江苏非球面激光干涉仪供应商家
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